解决方案

快速退火炉(RTA)在LED芯片生产中的应用

1. 产品图片:

2. 在LED芯片生产中的作用:

  • 能有效的提高晶圆的亮度(Lop)以及降低电压(Vf)
  • 消除残余应力,稳定尺寸,减少变形与裂纹倾向
  • 细化晶粒,调整组织,消除组织缺陷

3. 产品特色:

  • 多重灯管设计以保证温度均匀
  • 安全监测,包括热偶测温检测、过热检测、灯丝电流检测
  • 中英文用户操作界面,使用非常简便
  • 采用触摸式显示屏,在屏幕上可直接操作
  • 软件全自动控制工艺过程,操作简单,包括用户分级使用权限管理
  • 菜单编辑、工艺数据记录/查找、报警/报错、用户状态等功能

4. 软件操作画面:






5. 其他可应用领域:

  •  离子注入后退火/活化

  • 金属合金化,砷化稼电极合金化

  • 磷硅酸盐玻璃/硼磷玻璃回流

  • 沟道氧化

  • 栅介质形成

  • 多晶硅退火

  • 钛硅化物/硅化物/氮化物退火铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积

上海誉光光电科技有限公司 版权所有  沪ICP备13017429号-1